臭氧能够与硅胶反应，因为臭氧具有很强的氧化性。臭氧具有很强的氧化性，除了金和铂外，臭氧化空气几乎对所有的金属都有腐蚀作用。铝、锌、铅与臭氧接触会被强烈氧化，但含铬铁合金基本上不受臭氧腐蚀。基于这一点，生产上常使用含 25% Cr的铬铁合金（不锈钢）来制造臭氧发生设备和加注设备中与臭氧直接接触的部件。
臭氧对非金属材料也有了强烈的腐蚀作用，即使在别处使用得相当稳定得聚氯乙烯塑料滤板等，在臭氧加注设备中使用不久便见疏松、开裂和穿孔。在臭氧发生设备和计量设备中，不能用普通橡胶作密封材料，必须采用耐腐蚀能力强的硅橡胶或耐酸橡胶等。
◆ 硅橡胶材料在臭氧环境作用下，TSC特性曲线发生变化，陷阱参数改变，陷阱能级、陷阱电荷量增大，表明材料中产生了新的深能级陷阱，并且陷阱参数变化趋势和材料物理、化学结构的变化趋势相一致。
◆ 硅橡胶试样的老化和臭氧浓度以及臭氧环境作用时间均有密切关系，臭氧浓度越大，试样老化越严重:臭氧环境作用时间越一长，试样老化越严重，甚至可以粉化为粉末。
◆ 硅橡胶材料在电晕放电所产生的臭氧，其半衰期随温度增高明显降低，随相对湿度增高臭氧半衰期降低，而且温度对臭氧半衰期的影响比相对湿度对臭氧半衰期的影响大;有光源的情况下，臭氧半衰期是无光源时的3.5倍。
◆ 硅橡胶材料在臭氧环境作用下，材料表面平滑、致密的物理结构被破坏，产生了孔洞等缺陷，并且当臭氧环境作用强度达到一定程度后，材料的物理结构的破坏将越发严重;同时，化学基团含量发生变化，试样中Si-O-Si结构减少，经基和Si-0键增多，试样主链和侧链断裂。
◆ 在臭氧环境作用下，本试验的所有试样的憎水性均有不同程度的降低;在停止臭氧环境作用后，本研究中所有硅橡胶材料的憎水性都可以恢复，但臭氧环境作用时间短和臭氧浓度较低的试样憎水性恢复的较快。
◆ 相对湿度对硅橡胶试样的臭氧老化有影响，相对湿度越大，臭氧对硅橡胶的老化作用越明显，老化也越快。
综上所述，合成绝缘子表面电晕放电副产物之一的臭氧能够导致其表面结构破坏，内部化学基团含量变化，使得内部陷阱增多，J嘈水性下降。因此，在研究电晕老化的时候，必须考虑电晕所产生臭氧对合成绝缘子的作用。
遍查相关资料，硅橡胶管对臭氧氧化作用非常明显，而且在不同条件下，臭氧对硅橡胶管老化时间会有比较大区别。
